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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)革命性的新技術(shù),廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),是一項(xiàng)關(guān)系到國(guó)家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國(guó)防安全的關(guān)鍵技術(shù)。
MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工,涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。
常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計(jì)是一款超低功耗、±400g微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì),以2560Hz...
氫電解槽處于清潔能源革命的前沿,能夠通過水電解生產(chǎn)氫氣。隨著對(duì)綠色氫氣需求的增長(zhǎng),效率、安全和精度比以往任何時(shí)候都更加重要。為氫電解槽選擇正確的傳感器技....
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計(jì)是一款超低功耗、3軸微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 加速度計(jì),在100Hz輸出數(shù)據(jù...
傾角計(jì)是現(xiàn)代工業(yè)和科技中不可或缺的傳感元件。從高精尖的航空航天到日常使用的手機(jī),從保障安全的工程機(jī)械到預(yù)警地質(zhì)災(zāi)害的系統(tǒn...
2025-06-20 標(biāo)簽:mems工業(yè)自動(dòng)化傾角計(jì) 87 0
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計(jì)是一款低噪聲密度、低0g失調(diào)漂移微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì),具有可選...
在 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))制造領(lǐng)域,光刻工藝是決定版圖中的圖案能否精確 “印刷” 到硅片上的核心環(huán)節(jié)。光刻 Overlay(套刻精度),則是衡量光...
Analog Devices Inc. ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開關(guān)IC數(shù)據(jù)手冊(cè)
Analog Devices ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開關(guān)IC是寬帶、雙刀雙擲 (DPDT) 開關(guān),采用An...
鉆井與測(cè)井作業(yè)對(duì)定向和井眼軌跡控制要求較高,傳統(tǒng)光纖陀螺儀和磁性測(cè)斜儀體積大、抗干擾能力弱、成本高。MEMS陀螺儀憑借其微型化、高可靠性和環(huán)境...
瑞之辰銳評(píng)MEMS傳感器在打氣泵上的應(yīng)用與原理
應(yīng)用場(chǎng)景MEMS傳感器在打氣泵中的應(yīng)用主要集中在壓力監(jiān)測(cè)和流量控制方面。通過集成MEMS壓力傳感器和流量傳感器,打氣泵可以實(shí)現(xi...
高精度六軸MEMS運(yùn)動(dòng)跟蹤TM器件ICM-42688-P 數(shù)據(jù)表立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-08-12 標(biāo)簽:mems速度計(jì)
ADIS16470微型MEMS慣性測(cè)量單元(IMU)英文手冊(cè)立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-07-22 標(biāo)簽:memsIMU
ADI公司突破性的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)立即下載
類別:電子資料 2023-11-27 標(biāo)簽:adimems微機(jī)電系統(tǒng)
從追趕到領(lǐng)跑,瑞之辰解碼MEMS傳感器的國(guó)產(chǎn)加速度
在智能制造的浪潮中,MEMS傳感器如同工業(yè)系統(tǒng)的末梢神經(jīng),承載著數(shù)據(jù)采集與傳輸?shù)年P(guān)鍵使命。深圳市瑞之辰科技有限公司憑借在MEMS...
在追求動(dòng)態(tài)穩(wěn)定與精確操控的科技前沿——無論是無人機(jī)的平穩(wěn)翱翔、機(jī)器人的敏捷動(dòng)作、自動(dòng)駕駛的可靠定位,還是工業(yè)設...
2025-07-03 標(biāo)簽:mems 83 0
在定向鉆井與井眼軌跡精確控制領(lǐng)域,傳統(tǒng)的光纖陀螺儀常常體積笨重、易受干擾且成本高昂的挑戰(zhàn)。如今,微機(jī)電系統(tǒng)陀螺儀以其卓越的微型化設(shè)計(...
2025-07-02 標(biāo)簽:mems 113 0
央視《經(jīng)濟(jì)半小時(shí)》報(bào)道多家國(guó)產(chǎn)MEMS傳感器芯片企業(yè) 看誰上榜
6月30日,央視《經(jīng)濟(jì)半小時(shí)》以【小米3納米答卷的背后】為主題,報(bào)道了國(guó)內(nèi)多家半導(dǎo)體芯片企業(yè),其中包括MEMS傳感器芯片龍...
賽微電子突發(fā),國(guó)家大基金出售北京首條MEMS芯片量產(chǎn)線股權(quán)!3.2億元被競(jìng)購
? ? 昨日(6月30日)晚間,中國(guó)FAB2)總體產(chǎn)能84000片晶圓/年,產(chǎn)能利用率39.96%,生產(chǎn)良率73.46%,定位為中試+小批量產(chǎn)...
長(zhǎng)期以來,高端傳感器領(lǐng)域嚴(yán)重依賴進(jìn)口,市場(chǎng)被國(guó)外企業(yè)壟斷,核心技術(shù)受制于人,這成為我國(guó)科技發(fā)展...
這個(gè)MEMS IMU會(huì)是你尋找的慣性測(cè)量“最優(yōu)解”嗎?
在慣性測(cè)量領(lǐng)域,精度與穩(wěn)定性如同難以兼得的“魚與熊掌”,但ERICCO的ER-MIMU-183憑借先進(jìn)MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)了突破。其...
潤(rùn)芯感知江西MEMS芯片產(chǎn)線,國(guó)產(chǎn)BAW濾波器出貨量第一
近幾年,落戶于江西南昌高新區(qū)的潤(rùn)芯感知,作為南昌高新區(qū)參與投資的MEMS晶圓產(chǎn)線,行事低調(diào)務(wù)實(shí),卻已悄然成長(zhǎng)為國(gu...
這款微型MEMS IMU如何做到戰(zhàn)術(shù)級(jí)測(cè)量?
在無人機(jī)、機(jī)器人、無人車輛等智能設(shè)備快速發(fā)展的今天,高精度姿態(tài)測(cè)量和穩(wěn)定控制成為核心需求。然而,傳統(tǒng)慣性測(cè)量單元(IM...
助推國(guó)產(chǎn)MEMS聲學(xué)傳感器邁向世界,華芯邦賦能消費(fèi)電子升級(jí)
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))聲學(xué)麥克風(fēng)是采用微型化設(shè)計(jì),通過電容式傳感技術(shù)將聲波信號(hào)精準(zhǔn)轉(zhuǎn)化為電信號...
型號(hào) | 描述 | 數(shù)據(jù)手冊(cè) | 參考價(jià)格 |
---|---|---|---|
MSM321A3729H9BP | 模擬輸出MEMS麥克風(fēng) MIC_3.76X2.95MM_SM |
獲取價(jià)格
|
|
MSM261DHP006 | MEMS硅麥 1.6~3.6V ±1dB |
獲取價(jià)格
|
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