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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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MEMS光開關的優(yōu)勢有發(fā)展動態(tài)簡介
MEMS光開關的優(yōu)勢有發(fā)展動態(tài)簡介 摘要 本文介紹了基于MEMS(微電子機械系統(tǒng))技術的光開關的技術優(yōu)勢及主要制造商情況,并概要分
MEMS產業(yè)預強勢發(fā)展 2008年,TSMC宣布開始進入MEMS代工。一石激起千層浪,MEMS頓時成為半導體代工行業(yè)的明星。2009年Q1,SMI...
2010-03-17 標簽:MEMS 555 0
CAD工具提供MEMS專用設計功能介紹 在過去幾年,MEMS和微機械化設計與生產更多地是發(fā)生在大學實驗室里的研究活動,而
2010-03-11 標簽:MEMS 1749 0
MEMS規(guī)范概述 許多擁有晶圓廠的半導體制造商尋求通過為無晶圓廠MEMS開發(fā)商制造MEMS器件來利用他們舊生產線...
2010-03-11 標簽:MEMS 672 0
采用PC的IC工具降低MEMS設計方法 鑒于MEMS工藝源自光刻微電子工藝,所以人們很自然會考慮用IC設計工具來...
2010-03-11 標簽:MEMS 554 0
創(chuàng)建靈敏的MEMS結構的工藝技術介紹 表面微加工技術可用于創(chuàng)建微機電傳感器及激勵器系統(tǒng),它能夠通過高適應度的彈性,形成錨
2010-03-11 標簽:MEMS 750 0
2009年MEMS慣性傳感器現(xiàn)狀及2010年趨勢
2009年MEMS慣性傳感器現(xiàn)狀及2010年趨勢 MEMS技術最早由Richard Pfeynman(1965年獲得諾貝爾物理獎),在1959年提出...
SensorDynamics推出新款采用微型QFN40封裝的
SensorDynamics推出新款采用微型QFN40封裝的新型MEMS陀螺儀:SD70X SensorDynamics新推出用于高端工業(yè)、醫(yī)療和消費...
“MEMS的應用與機遇”研討會探索MEMS廣闊市場 MEMS是多學科交叉融合的前沿技術,是未來的主導產業(yè)之一。MEMS以其微型化的優(yōu)勢,在消費電子、...
ST推出MEMS加速計產品 意法半導體發(fā)布新系列三軸數(shù)字加速計的產品細節(jié)。新產品擁有市場上最小的占板面積、大幅降低的電流消耗和增強的功能。 意法半導體在
ST推出MEMS數(shù)字羅盤模塊 意法半導體在單一模塊內集成一個3軸數(shù)字加速計和一個3軸數(shù)字磁感應計,這款數(shù)字羅盤模塊兼?zhèn)涓呔取⑿〕叽纭⒌凸摹⒕哂懈偁...
2010-01-16 標簽:MEMS數(shù)字羅盤模 1046 0
市場分析:MEMS封裝朝向晶圓級發(fā)展 傳統(tǒng)的MEMS長期依賴陶瓷封裝,雖然行之有效,但MEMS產業(yè)已經醞釀向晶圓級封裝(WLP)技術轉變,而這一轉變的...
用于供電無線感應器節(jié)點MEMS設備研制成功 Holst Centre,一家專注為無線自治傳感器方案開發(fā)共用性技術的研發(fā)機構,已經開發(fā)一套新能量收集應...
2009-12-28 標簽:MEMS 584 0
基于MEMS的硅微壓阻式加速度傳感器的設計 硅微加速度傳感器是MEMS器件中的一個重要分支,具有十分廣闊的應用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應快、靈敏度高
ST創(chuàng)新的MEMS麥克風 意法半導體(ST)擴大產品陣容,推出新一代微加工音響器件:創(chuàng)新的MEMS麥克風。新產品采用歐姆龍3的傳感器技術,針對手機以及...
釋放MEMS機械結構的干法刻蝕技術 濕法刻蝕是MEMS 器件去除犧牲材料的傳統(tǒng)工藝,總部位于蘇格蘭的Point 35 Microstructure...
基于MEMS強鏈和FPGA的USB移動硬盤數(shù)據(jù)加解密系統(tǒng)
基于MEMS強鏈和FPGA的USB移動硬盤數(shù)據(jù)加解密系統(tǒng) 隨著信息量的急劇增長,信息安全日益受到人們重視。一個完整的數(shù)據(jù)加解密系統(tǒng)應該 具備...
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