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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS加速度傳感器在人體坐姿的檢測和糾正中的應(yīng)用
本文把加速度傳感器作為檢測的模塊,一方面可用來防止坐姿的不當(dāng),提醒本人注意坐姿,另一方面可用來做運(yùn)動的測量裝置如(計步器)(燈光調(diào)節(jié)器)(音樂調(di...
微機(jī)電 (MEMS)汽車傳感器消費(fèi)量猛增 關(guān)注中國市場
據(jù)iSuppli公司的最新調(diào)研,微機(jī)電 (MEMS)汽車傳感器將在2010年強(qiáng)勁反彈,預(yù)計2010年全球汽車MEMS傳感器出貨量將達(dá)到5.9...
在消費(fèi)電子設(shè)備中如何選擇和集成MEMS運(yùn)動處理方案
在消費(fèi)電子設(shè)備中如何選擇和集成MEMS運(yùn)動處理方案 對設(shè)備在三維空間中的運(yùn)動進(jìn)行測量及智能處理的運(yùn)動處理技術(shù),...
2010-01-04 標(biāo)簽:MEMS 437 0
如何利用MEMS慣性感測技術(shù)實(shí)現(xiàn)應(yīng)用變革
如何利用MEMS慣性感測技術(shù)實(shí)現(xiàn)應(yīng)用變革 雖然MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)被用于安全氣囊和汽車壓力傳感器領(lǐng)域...
2010-04-27 標(biāo)簽:MEMS 1408 0
MEMS麥克風(fēng)用于高保真音頻回放、VoIP和語音識別
MEMS麥克風(fēng)用于高保真音頻回放、VoIP和語音識別 許多便攜式...
什么是MEMS MEMS(Micro Electromechanical System,即微電子機(jī)械系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電...
2010-04-02 標(biāo)簽:MEMS 2204 0
全球五大MEMS買家 各具特色 2009年消費(fèi)類電子產(chǎn)品與手機(jī)MEMS部件的最大買家是任天堂。任天堂在提高游戲...
2010-03-25 標(biāo)簽:MEMS 437 0
MEMS,什么是MEMS MEMS(Micro Electromechanical System,即微電子機(jī)械系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處...
2010-03-20 標(biāo)簽:MEMS 1228 0
MEMS光開關(guān)的優(yōu)勢有發(fā)展動態(tài)簡介
MEMS光開關(guān)的優(yōu)勢有發(fā)展動態(tài)簡介 摘要 本文介紹了基于MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)的光開關(guān)的技術(shù)優(yō...
MEMS產(chǎn)業(yè)預(yù)強(qiáng)勢發(fā)展
MEMS產(chǎn)業(yè)預(yù)強(qiáng)勢發(fā)展 2008年,TSMC宣布開始進(jìn)入MEMS代工。一石激起千層浪,MEMS頓時成為半導(dǎo)體代工行業(yè...
2010-03-17 標(biāo)簽:MEMS 555 0
CAD工具提供MEMS專用設(shè)計功能介紹 在過去幾年,MEMS和微機(jī)械化設(shè)計與生產(chǎn)更多地是發(fā)生在大學(xué)實(shí)驗(yàn)室里的研究...
2010-03-11 標(biāo)簽:MEMS 1749 0
MEMS規(guī)范概述 許多擁有晶圓廠的半導(dǎo)體制造商尋求通過為無晶圓廠MEMS開發(fā)商制造MEMS器件來利用他們舊生產(chǎn)線...
2010-03-11 標(biāo)簽:MEMS 662 0
采用PC的IC工具降低MEMS設(shè)計方法 鑒于MEMS工藝源自光刻微電子工藝,所以人們很自然會考慮用IC設(shè)計工具來...
2010-03-11 標(biāo)簽:MEMS 553 0
創(chuàng)建靈敏的MEMS結(jié)構(gòu)的工藝技術(shù)介紹
創(chuàng)建靈敏的MEMS結(jié)構(gòu)的工藝技術(shù)介紹 表面微加工技術(shù)可用于創(chuàng)建微機(jī)電傳感器及激勵器系統(tǒng),它能夠通過高適應...
2010-03-11 標(biāo)簽:MEMS 750 0
任天堂勇超三星 成消費(fèi)電子與手機(jī)用MEMS最大買家
任天堂勇超三星 成消費(fèi)電子與手機(jī)用MEMS最大買家 據(jù)iSuppli公司,日本任天堂在2009年超越韓國的三星,成為用于消費(fèi)電子產(chǎn)品和手機(jī)的...
2009年MEMS慣性傳感器現(xiàn)狀及2010年趨勢
2009年MEMS慣性傳感器現(xiàn)狀及2010年趨勢 MEMS技術(shù)最早由Richard Pfeynman(1965年獲得諾貝爾物理獎),在1959年提出...
SensorDynamics推出新款采用微型QFN40封裝的
SensorDynamics推出新款采用微型QFN40封裝的新型MEMS陀螺儀:SD70X SensorDynamics新推出用于高端工業(yè)、醫(yī)療和消費(fèi)...
“MEMS的應(yīng)用與機(jī)遇”研討會探索MEMS廣闊市場
“MEMS的應(yīng)用與機(jī)遇”研討會探索MEMS廣闊市場 MEMS是多學(xué)科交叉融合的前沿技術(shù),是未來的主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)之一。MEMS以...
基于ARM平臺的MEMS輸入設(shè)備的固件設(shè)計
基于ARM平臺的MEMS輸入設(shè)備的固件設(shè)計 1 引言 MEMS(Micro Electro Mechanical System,即微機(jī)電系統(tǒng)...
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