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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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微機電系統,英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫),其是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械...
MEMS微機電系統基本上是指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置,是一個獨立的智能系統,主要由傳感順、作動器(執行器)和微能源三大部分組成。
據IHS iSuppli公司的 MEMS 研究報告,2011年上半年不同的微機電系統(MEMS)領域增長速度有快有慢,突顯這些器件的使用領域更加多樣化。...
2011-09-08 標簽:MEMS 799 0
Consensic感芯半導體推出MEMS電容式壓力傳感器CPS120
美國Consensic 公司推出革命性新型微機電(MEMS)智能電容式壓力傳感器CPS120,是全世界唯一一家數字式MEMS電容式壓力傳感器的廠商。
最近的傳感器技術發展使得機器人和其他工業系統設計實現了革命性的進步。除了機器人以外,慣性傳感器有可能改善其系統性能或功能的應用還包括:平臺穩定、工業機械...
ST在MICROTech World上展示MEMS技術多項應用成果
意法半導體 (STMicroelectronics,簡稱ST;紐約證券交易所代碼:STM)將于2011年8月24-26日在韓國2011年MICROTec...
Maxim收購傳感器和MEMS方案商SensorDynamics
美信(Maxim Integrated Products)宣布公司已完成對SensorDynamics的收購,SensorDynamics是一家提供專用...
ADI推出ADIS16210 MEMS iSensor數字傾角計系統
ADI全球領先的高性能信號處理解決方案供應商,最近正式全面推出ADIS16210 MEMS iSensor數字傾角計系統,該系統可在+/-180度的全向...
針對多點調平系統的不足,設計了電機式3點自動校準平臺,簡化了控制模型。在分析了調平過程中可能遇到的干擾因素后,采用相應的軟硬件抑制方法,提高了系統適應復...
MEMS(Micro Electromechanical System,即微電子機械系統)是指集微型傳感器、執行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信...
2011-06-20 標簽:MEMS 1297 0
雖然自微電子機械系統技術(MEMS)第一次被用于安全氣囊和汽車壓力傳感器領域,至今已有20年左右,但真正讓人們更了解慣性傳感器的用途,卻是任天堂Wi...
TI推出單芯片無源紅外線(IR)MEMS溫度傳感器 TMP006
德州儀器 (TI) 宣布推出業界首款單芯片無源紅外線 (IR) MEMS 溫度傳感器,首次為便攜式消費類電子產品實現非接觸溫度測量功能
MEMS(微機電系統)傳感器深受運動、加速度、傾斜度和振動測量市場的歡迎。MEMS傳感器是系統級封裝解決方案,具有高分辨率、低功耗和尺寸緊湊等諸多優點
消費電子、通信電子產品,如手機、數碼相機、數碼攝像機、PDA、MP3、PMP、P-DVD、DC、DV、NB、NetBook等必須具備一定的抗沖擊或抗跌落能力
日前,意法半導體公司(STMicroelectronics)宣布,將大幅度提高其MEMS(微電子機械系統)產能。根據市場方面持續且強勁的需求,預計到20...
蘇州敏芯微電子成功研發面向 MEMS 微硅傳感器制程的 SENSA 工藝。敏芯目前已經將此工藝應用于公司生產的微硅壓力傳感芯片 MSP 系列產品中
ST推出新款數字MEMS麥克風MP34DB01和MP45DT02
ST今天推出兩款新的數字MEMS麥克風。結合耐用性和可靠性出眾的聲音在降低成本的大小和質量,ST的MP34DB01和MP45DT02麥克風啟用增強在移動...
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