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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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MEMS是Micro Electro Mechanical Systems(微機電系統(tǒng))的縮寫,具有微小的立體結(jié)構(gòu)(三維結(jié)構(gòu)),是處理各種輸入、輸出信號...
東南大學MEMS教育部重點實驗室是以微電子學科為主題、結(jié)合電子工程系固體電子學研究室、工程力學系和機械工程系相關(guān)課題組,組建了跨學科的研究結(jié)構(gòu),于199...
2023-10-12 標簽:mems 986 0
雖然硅基MEMS微振鏡區(qū)別于傳統(tǒng)的金屬機械結(jié)構(gòu)部件(電機、轉(zhuǎn)子等),避免了機械式激光雷達因內(nèi)部旋轉(zhuǎn)的整體模塊體積和重量都較大引起受沖擊時慣量太大而容易致...
一文帶你詳細了解傳感器及其相關(guān)產(chǎn)業(yè)
本文來自公眾號【信熹資本】,這是一篇整理的非常細致的傳感器產(chǎn)業(yè)介紹內(nèi)容,涵蓋了傳感器的相關(guān)概念、發(fā)展歷史、分類方式、產(chǎn)業(yè)鏈和市場情況等信息。與其他籠統(tǒng)介...
MEMS 麥克風中數(shù)字 PDM 和 I2S 接口之比較
作者:Jeff Smoot 麥克風用在嵌入式系統(tǒng)中已經(jīng)有很多年了。然而,自其誕生以來,由于家居、汽車和可穿戴設(shè)備中基于語音的應用范圍不斷擴大,MEMS麥...
使用 MEMS 加速計快速部署傳感器,實現(xiàn)基于 IIoT 的預測性維護
作者:Richard A. Quinnell 使用振動傳感器對機器進行狀態(tài)監(jiān)測,這是工業(yè)物聯(lián)網(wǎng) (IIoT)(或工業(yè)4.0)預測性維護目標的關(guān)鍵要素。這...
在半導體制造中,刻蝕工序是必不可少的環(huán)節(jié)。而刻蝕又可以分為干法刻蝕與濕法刻蝕,這兩種技術(shù)各有優(yōu)勢,也各有一定的局限性,理解它們之間的差異是至關(guān)重要的。
解決大問題需要開創(chuàng)性的技術(shù),機電繼電器早在電報問世之初就已存在,但沒有其他替代的開關(guān)技術(shù)可滿足所有市場需求——特別是對于測試和測量、通信、防務、醫(yī)療保健...
2023-09-07 標簽:ESDmems微機電系統(tǒng) 1115 0
量子傳感器具有許多經(jīng)典傳感器所不具有的性質(zhì) ,設(shè)計量子傳感器時 ,在重點考慮將量子領(lǐng)域不可直接測量量變換成可測量量外 ,還應從非破壞性 、實時性 、靈敏...
近年來,隨著機器人、可穿戴設(shè)備和物聯(lián)網(wǎng)(IoT)等領(lǐng)域的快速發(fā)展,人們對基于柔性聚合物的壓電薄膜(特別是氧化鋅(ZnO)和氮化鋁(AlN))的研究興趣顯...
慣性導航技術(shù)是慣性技術(shù)的核心和發(fā)展標志,慣性導航系統(tǒng) (Inertia navigation system,INS) 利用陀螺儀和加速度計 (統(tǒng)稱為慣性...
2023-08-22 標簽:mems陀螺儀導航系統(tǒng) 5692 0
MEMS傳感器在各類電子產(chǎn)品上快速普及,我們身邊的智能手機、平板電腦等幾乎所有電子設(shè)備無不包含,然而大部分人對MEMS技術(shù)還是比較陌生的。 MEMS技術(shù)...
據(jù)麥姆斯咨詢介紹,砂輪劃片、激光全切等傳統(tǒng)切割方式存在振動沖擊大、切割屑污染、熱應力作用大等問題,常常導致具有懸膜、懸臂梁、微針、微彈簧等敏感結(jié)構(gòu)類型的芯片損壞
國產(chǎn)傳感器罕見的時代機遇,是120萬億機器人市場
來源:傳感器專家網(wǎng) 機器人指數(shù)今年以來彈性突出,上半年指數(shù)漲幅達到25%,多個機器人傳感器概念企業(yè)漲幅明顯。 編輯:感知芯視界 從市場到資本,目前中國智...
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