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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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我在上一篇關(guān)于MEMS壓力傳感器的博客中,談到了從手表到復(fù)雜機(jī)械等眾多設(shè)備中的HMI傳感器如何改變了我們獲取信息以及與技術(shù)交互的方式。過去,許多設(sh...
磁強(qiáng)計(jì)是如何定義的?磁強(qiáng)計(jì)有哪些分類?
磁強(qiáng)計(jì)(Magnetic Field Sensor)也稱磁場(chǎng)傳感器(Magnetometer),是一種測(cè)量環(huán)境磁感應(yīng)強(qiáng)...
基于ST 紅外傳感器STHS34PF80 搭配菲涅爾透鏡針對(duì)投影機(jī)應(yīng)用方案
STHS34PF80 是一款紅外線感測(cè)器,可用于偵測(cè)靜止和移動(dòng)物體的存及超溫條件。它采用獨(dú)特的 TMOS 技術(shù)測(cè)量物體的紅外線輻射,當(dāng)...
如何設(shè)計(jì)用于牲畜監(jiān)測(cè)、車隊(duì)管理和工業(yè) 4.0 物流的多重連接跟蹤系統(tǒng)
作者:Jeff Shepard 投稿人:DigiKey 北美編輯 對(duì)于牲畜管理等農(nóng)業(yè)經(jīng)營(yíng)活動(dòng)、食品和藥品冷鏈倉儲(chǔ)、車隊(du...
作者:Jeff Smoot 是 CUI Devices 應(yīng)用工程和運(yùn)動(dòng)控制部門副總裁 使用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS) 麥克風(fēng),就有可能將復...
MPU6050是6軸運(yùn)動(dòng)處理傳感器,它集成了3軸MEMS陀螺儀,3軸MEMS加速度計(jì),以及一個(gè)可擴(kuò)展的數(shù)字運(yùn)動(dòng)處理器D...
高溫壓力傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)、航空航天等領(lǐng)域,用來監(jiān)測(cè)航空發(fā)動(dòng)機(jī)、重型燃?xì)廨啓C(jī)、燃煤燃?xì)忮仩t等動...
膜厚測(cè)試在MEMS制造工藝中至關(guān)重要,它不僅關(guān)乎工藝質(zhì)量,更直接影響著最終成品的性能。為了確保每一片MEMS器件的卓越品質(zhì),精確測(cè)量薄膜厚度...
2024-01-08 標(biāo)簽:mems制造工藝測(cè)量?jī)x器 1736 0
基于高溫退火非極性面氮化鋁單晶薄膜實(shí)現(xiàn)高性能聲學(xué)諧振器開發(fā)
氮化鋁(AlN)以其超寬禁帶寬度(~6.2 eV)和直接帶隙結(jié)構(gòu),與氧化鎵、氮化硼、金剛石等半導(dǎo)體材料被并稱為超寬禁帶半導(dǎo)體,與氮化鎵、碳化硅等第三代半...
調(diào)試MEMS加速度計(jì),為什么Y軸和Z軸的MSB輸出數(shù)據(jù)是0xFF?
本期小編將為大家分享的熱門問答帖來自 MEMS專區(qū)。趕緊來看看,您是否也有相同的疑惑?
激光投影儀將移動(dòng)的光轉(zhuǎn)換為更高級(jí)別的信息,用于實(shí)際用途,如標(biāo)志、圖形和視頻。信息本身可以以矢量圖形激光投影(VGLP)模式或光柵模式呈現(xià...
2024-01-05 標(biāo)簽:mems微機(jī)電系統(tǒng)反射鏡 1772 0
微機(jī)電系統(tǒng)與專用集成電路的結(jié)合也在同時(shí)走向成熟,這將帶來前所未有的產(chǎn)品。傳感器的微型化推動(dòng)了遠(yuǎn)程醫(yī)療、智能家居、智能...
2024-01-03 標(biāo)簽:mems晶體管微機(jī)電系統(tǒng) 1554 0
阻礙智能傳感器發(fā)展的主要原因!50%的問題都出在這里!什么是MEMS封裝?(附58家頭部企業(yè)名單)
相關(guān)資料顯示, 在 MEMS 系統(tǒng)中發(fā)生的可靠性問題 50% 來自封裝過程 。2001年左右, 封裝成本占MEMS器件總成本的70%~80% ,使當(dāng)時(sh...
MEMS工藝設(shè)計(jì)中如何實(shí)現(xiàn)應(yīng)力匹配?
相較于本征應(yīng)力,熱應(yīng)力在某些方面是可以化敵為友的。在MEMS熱敏感執(zhí)行器中,基于膜層之間的熱膨脹系數(shù)差來實(shí)現(xiàn)懸臂梁的驅(qū)動(dò...
如何防止數(shù)字 MEMS 傳感器出現(xiàn)混疊現(xiàn)象
作者:Tom Bocchino, STMicroelectronics 過去十多年來,基于微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 的設(shè)計(jì)人員一直選擇使用數(shù)字式 MEM...
一種聚合物壓電MEMS加速度計(jì)新設(shè)計(jì)方案
MEMS加速度計(jì)通過微結(jié)構(gòu)內(nèi)發(fā)生的電容、電阻或電荷(壓電)變化來檢測(cè)機(jī)械加速度,現(xiàn)已成為僅次于壓力傳感器,應(yīng)用量排...
基于微納結(jié)構(gòu)的MEMS熱輻射紅外光源技術(shù)原理
一些光柵結(jié)構(gòu)也實(shí)現(xiàn)了向二維方向的拓展,使TE、TM兩個(gè)極化方向產(chǎn)生相干的熱發(fā)射成為可能。如圖8所示為SiC交叉狹縫光柵結(jié)...
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