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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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當外界環境溫度變化時, MEMS芯片上的硅烷偶聯劑與硅膠表面結合發生化學反應,使硅烷的化學性質也隨之發生變化,當此變化超過硅烷的臨界值時,將引起硅烷偶聯...
良好的機械強度:玻璃是一種相對堅固且耐用的材料,可以保護MEMS器件免受機械應力的影響。另外,不同于金屬或其他材料, 玻璃材料不會產生疲勞效應。適用于長...
導電聚合物因其高離子電導率和優異的機械柔性等獨特優勢,被認為是一種極具潛力的智能材料。
數十年來,基于石英的時鐘器件一直為航空航天和國防應用提供參考時鐘。盡管,多年來基于石英的振蕩器不斷增強以改進其缺點,但其固有不足使其成為下一代防御系統(...
AMC1100和AMC2000都可支持空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣等干燥潔凈無腐蝕性氣體的測量控制,標準量程范圍都為0~100ml/min,在0-5...
SPI至RS-422/RS-1設計解決方案的詳細物理層設計注意事項
為MEMS實現有線物理層接口的常見挑戰包括管理EMC魯棒性和數據完整性。然而,當在長RS-485/RS-422電纜上擴展時鐘同步接口(如SPI)時,以及...
適用于阻抗條測試,信號完整性驗證、共面波導、電路調試及測試裝置用途,基本可以做到高速信號測試無死角。
使用MEMS加速度計和自適應參考方法助于大幅提高DVR系統性能
現代車載數字視頻記錄系統 (DVR) 或 OBD 正在使用加速度計(g 傳感器)來測量車載加速度。這允許DVR在發生預定義事件(例如急剎車或碰撞)時,使...
電磁驅動型掃描微鏡是依據帶電線圈產生的電磁場來驅動的。電磁微鏡最明 顯的優勢是僅在低電壓低電流的驅動下就可以達到較大的微鏡角度偏轉,同時也 具有偏轉速度...
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