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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>厚膜混合集成電容式加速度計

厚膜混合集成電容式加速度計

2010-02-21 | rar | 226 | 次下載 | 5積分

資料介紹

設計了電容式加速度計的信號檢測電路,與電容式加速度計敏感單元進行聯調和測試,并進行了標定。為減小體積,提高電容式加速度計的檢測精度,采用厚膜混合集成工藝,將檢測電路和電容式加速度計敏感單元集成于一體, 并進行了電路測試和性能測試。測試數據表明,其測試精度提高了一個數量級,線性度和溫度特性均有很大的改善。

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