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基于聲表面波的傳感器具有很高的靈敏度、良好的線性,有望在氣體傳感器中得到廣泛的應(yīng)用。通常情況下,測(cè)量電路是由放大器與SAW器件構(gòu)成SAW振蕩器。在SAW器件的表面上的擾動(dòng),如氣體分子在傳感器表面的沉積等因素的影響,使SAW振蕩器的振蕩頻率發(fā)生了變化。可通過(guò)測(cè)量頻率的變化而求出所要的物理量。討論了用頻率直接數(shù)字合成器(DDS) 構(gòu)成的SAW測(cè)量電路。
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