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基于電荷放大原理提出了一種新型的用于電容傳感器的微弱電容測(cè)量電路。該電路具有較強(qiáng)的抗雜散電容性能; 較好的解決了電子開關(guān)的電荷注入效應(yīng)對(duì)測(cè)量分辨率的影響問題; 該電路無需濾波器, 基于該新型電路的電容數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)可以達(dá)到很高的數(shù)據(jù)采集速度。試驗(yàn)測(cè)試表明該電路線性度好, 靈敏度為4. 8mV ?fF, 分辨率可達(dá)到0. 5 fF。
關(guān)鍵詞: 電容; 測(cè)量; 傳感器; 電路
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