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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>基于硅結構的微流體控制系統

      基于硅結構的微流體控制系統

      2009-07-11 | rar | 267 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      基于硅結構的微流體控制系統(μFCs) 是微機電系統(MEMS) 中的一個重要分支,可廣泛用于生物、醫學、化工、電子等領域。主要綜述了微流體控制系統中的微流體傳感器、微型泵、微型閥的工作結構原理及其國內外研究現狀,同時還探討了集成微流體控制系統的研究現狀。
      關　鍵　詞:微機電系統;微流體控制系統;微流體傳感器;微型泵;微型閥

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