中圖儀器SuperView 3d光學(xué)精密圖像測量系統(tǒng)是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的超高精度三維輪廓測量儀。其重建算法自動濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。儀器采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實(shí)時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。
產(chǎn)品功能
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。
SuperViewW系列輪廓測量儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量高要求的領(lǐng)域中，可以說只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。還支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。
測量步驟：
1.點(diǎn)擊XY復(fù)位，使得鏡頭復(fù)位到載物臺中心
2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；
3.確認(rèn)電機(jī)連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測量條件；
4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度，找到干涉條紋；
5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍；
6.點(diǎn)擊選項(xiàng)圖標(biāo)，確認(rèn)自動找條紋上下限無誤；
7.點(diǎn)擊多區(qū)域測量圖標(biāo)，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區(qū)域形狀；
8.根據(jù)被測物形狀和尺寸，"形狀”欄選擇“橢圓平面”，X和Y方向按需設(shè)置；
9.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開始”圖標(biāo)，儀器即自動完成多個區(qū)域的對焦、找條紋、掃面等操作。
SuperViewW系列輪廓測量儀以白光干涉測量技術(shù)為基礎(chǔ)，采用的是非接觸式光學(xué)測量，在獲得實(shí)時數(shù)據(jù)的同時，不會對產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。
